（信息來源：愛集微）

3月26日，在SEMICON China 2025展會上，北方華創(Naura)正式宣布進軍離子注入設備市場，并重磅推出首款離子注入機Sirius MC 313。這一戰略舉措標志著公司在半導體核心裝備領域完成關鍵布局，為國產半導體設備在高端市場的突破注入新動能。

作為芯片制造的關鍵環節，離子注入設備雖不如光刻機備受矚目，卻在半導體制造中扮演著不可或缺的角色。該設備通過將特定元素的帶電離子以精確控制的能量注入半導體材料，實現對材料電學性能的精準調控。其技術流程包括離子源生成、電場加速、精確注入等關鍵步驟，工藝復雜度高，技術壁壘顯著。

據國際半導體產業協會（SEMI）數據，2024年全球離子注入設備市場規模已達276億元，預計2030年將增長至307億元，年復合增長率2.1%；其中，國內市場空間約160億元，國產替代潛力巨大。

北方華創此次突破，不僅填補了國內高端離子注入設備空白，更有望打破國際巨頭長期壟斷的市場格局。隨著Sirius MC 313的推出，公司將成為全球少數具備離子注入設備量產能力的供應商之一，為中國半導體產業鏈自主可控提供重要支撐。

行業專家指出，在半導體設備國產化浪潮下，北方華創的此次布局將顯著提升我國在關鍵設備領域的自主創新能力，為下游芯片制造企業提供更多元化的設備選擇，助力中國半導體產業向高端化邁進。